AFM-CD Normal

Der Nanoskalige AFM-CD Standard (CD-Critical Dimension) enthält Steg-Strukturen zur Linienbreitenmessung im Nanometerbereich. Die Stegbreiten und Gitterperioden sind zur Kalibrierung in der Rasterkraftmikroskopie geeignet (Atomkraftmikroskop AFM).
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Nanoskaliger Linienbreiten / Gitterperioden-Standard

Der Nanoskalige Linienbreiten / Gitterperioden-Standard enthält Gitterstrukturen mit Perioden im Nanometerbereich zur lateralen Kalibrierung und zum Auflösungstest für die hochauflösende optische Mikroskopie wie Ultraviolett Mikroskopie (UVM) und Konfokalmikroskopie (CLSM für confocal laser scanning microscopy).
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AFM-Spitzen Charakterisierer

Der AFM-Spitzen Charakterisierer enthält Strukturen zur in-situ Bestimmung der AFM-Spitzengeometrie.
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