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Nanoskalige Kalibrierung


Nanoskalige Kalibrierung
 

Nanoskaliger AFM-CD Standard

Nanoskalige Kalibrierung Der Nanoskalige AFM-CD Standard (CD-Critical Dimension) enthält Steg-Strukturen zur Linienbreitenmessung im Nanometerbereich. Die Stegbreiten und Gitterperioden sind zur Kalibrierung in der Rasterkraftmikroskopie geeignet (Atomkraftmikroskop AFM).

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Nanoskaliger Linienbreiten / Gitterperioden-Standard

Nanoskalige Kalibrierung Der Nanoskalige Linienbreiten / Gitterperioden-Standard enthält Gitterstrukturen mit Perioden im Nanometerbereich zur lateralen Kalibrierung und zum Auflösungstest für die hochauflösende optische Mikroskopie wie Ultraviolett Mikroskopie (UVM) und Konfokalmikroskopie (CLSM für confocal laser scanning microscopy)

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AFM-Spitzen Charakterisierung

Nanoskalige Kalibrierung Vorteil:

Der AFM-Spitzencharakterisierer enthält Strukturen zur in-situ Bestimmung der AFM-Spitzengeometrie.

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CD_Standard_.pdf
 

LinewidthPit.pdf
 

Tip_characte.pdf
 
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